臭氧氧化處理和低溫等離子處理兩種有機廢氣處理工藝是針對不同需求的企業，根據客戶的現場實際需求選擇。
臭氧氧化處理工藝
臭氧自溶解的速率常數一般在0.0012~1s之間，被紫外線或催化劑迅速分解，產生高活性的原子氧。這種原子氧可以氧化有刺激性臭味氣味的物質，從而就能夠達到除臭的目的。一般來說，使用臭氧氧化技術也可以處理能產生氣味的無機或有機物質，從而達到除臭效果。然而，臭氧本身是一種有臭味的物質。因此，在采用這種處理方法時，必須解決臭氧殘留的處理問題，以保證有機廢氣濃度低、風量大的情況下得到更好的處理。
低溫等離子處理工藝
低溫等離子處理過程主要利用電力產生許多高能粒子，然后降解，氧化，裂解和電離分子。近年來，國內外的關鍵問題就是低溫等離子處理。低溫等離子處理工藝應用于低濃度，高產量的有機廢氣處理，具有處理能力大，能耗低的優點。然而，該處理過程在施用過程中產生許多副產物，并且不會將有機廢氣完全降解為H2O和CO2。根據相關調查研究，直流電暈放電產生的等離子用于降解苯，降解率較高，但也產生了一些副產物，包括HCOOH，HCN，C2H2，CO和CO2。同時，低溫等離子處理工藝的應用不能存在水蒸氣，因此有必要投資一些除濕設備，而且成本相對較高。
